型號：定製
品牌：北京七星
用途：2~2000slm精準控製進氣量，數字顯示
連接方法：直接連接
提示：根據實驗要求定製
| 產品型號 | 定製 |
|---|---|
| 產品類型 | 普通型,抗電磁幹擾 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
| 產品精度 | ±1.5％F.S. |
| 重複精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應時間 | ≤10sec |
| 工作溫度範圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度係數 | |
| 零點飄移指標 | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Female |
| 工作壓差範圍 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標準接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
| 表麵化學成分 | - 無 - |
| 表麵粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁幹擾 | CE |
| 重量 | 1.1Kg |
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