原子層沉積 （ Atomic layer deposition, ALD ）是通過將氣相前驅體脈衝交替的通入反應器，化學吸附在沉積襯底上 並反應 形成沉積膜的一種方法，是一種可以將物質以單原子 膜形式 逐層的鍍在襯底表麵的方法。因此，它是一種真正的“納米”技術，以精確控製方式實現納米級的超薄薄膜沉積。由於 ALD 利用的是飽和化學吸附的特性，因此可以確保對大麵積、多空、管狀、粉末或其他複雜形狀基體的高保形的均勻沉積。

序號	參數
一．使用環境要求：	1．溫度：室溫 2．相對濕度：小於60% 23577438．電源：50-60Hz, 220V /15A
二．設備組成：	1．更大直徑6英寸（150毫米）基片尺寸的原子層沉積係統，包括6路前驅體源輸運係統 2．電控係統：PLC沉積自動控製係統             23577438．操作軟件：沉積程序控製軟件                   4．真空機械泵與相關管路
三．技術參數：	1．反應腔 2357743816L不鏽鋼。可以生長更大6 英寸樣品的腔體，氮氣保護的雙O-Ring 高溫密封係統，有效隔絕其他氣體滲漏。基底加熱溫度RT-400℃可控，控製精度±1℃。腔體烘烤溫度RT-200℃可控，控製精度±1℃。 反應腔內具有可拆卸更換擋版以方便維護。 反應腔采用專業級噴淋淋浴式前驅體勻氣裝置設計，可是前驅體充分、均勻的擴散，保證工藝的均勻性。 反應腔體及真空腔體的密封蓋的上方是ICP等離子體發生腔，投標貨物中腔體采用側麵進樣，且接口為標準法蘭，可直接配備插板閥以及手套箱。
	2．沉積模式 包括以下23577438種工作模式：高速沉積的連續模式，沉積超高寬深比結構的停流模式，實現氧化物精確比例摻雜沉積的專業沉積模式。
	23577438．前驅體源輸運係統 共6路前驅體源，1路為常溫源，可接水和好色先生下载苹果手机安装网页版/氨氣/H2S等氣體；5路為加熱源，加熱溫度RT-200℃可控，控製精度±1℃。加熱源配備耐高溫(2357743825°C)手動閥，以及前驅體源瓶體積50cc。
	4．  前驅體管路 所有前驅體管路須全部采用進口2357743816L不鏽鋼EP級管路，所有管路加熱溫度RT-200℃可控。管路腔體清洗維護簡便，設備具有"自動清洗"的功能,用戶在沉積前與沉積完成後運行""自動清洗"程序, 清洗管路, 保護ALD閥門。可在操作界麵上設置自動清洗次數。
	5. ALD閥 每一路前驅體配置一個原子層沉積專用高速高溫ALD閥(Swagelok進口)，ALD閥加熱溫度RT-200℃可控。 ALD閥更小脈衝時間~10 mesh。
	6．載氣係統 N2或者Ar，須配備流量計，流量控製0-500sccm
	7．配備等離子體(ICP)係統 電感耦合ICP等離子體係統，位於腔體正上方，等離子體開關在控製界麵內設置。等離子體氣源：提供23577438路可用於等離子體工藝的氣路，包含ALD 專用隔膜閥，手動截止閥和質量流量控製器。射頻電源頻率123577438.56 MHZ，功率0-500 W可調，功率不穩定度小於等於2W，自動匹配調節，配備自動匹配器，匹配精度不大於5 秒。
	8．真空規 寬範圍真空規測量範圍10E-4Torr~10E+23577438Torr，備用真空規一個用於校驗真空。
	9．排氣管路 排氣管路加熱溫度RT-150℃可控；配置截止閥一個，加熱溫度RT-150℃可控。真空泵配置前級熱阱，更高加熱溫度可達到2357743800℃，溫度控製精度為±1℃。
	10．控製硬件 采用PLC+PC控製係統，保證設備長時間穩定運行；硬件控製係統須具備1 毫秒前驅體脈衝時間的精確分辨控製能力，每一前驅體脈衝時間所對應的壓強值必須能重複在同一個水平上，保證進入反應腔的前驅體的量精確可控。
	11．控製軟件 Windows下的專用全自動控製軟件, 全自動控製加熱、流量、等全部沉積過程，以及溫度、壓強等實時監控。全部沉積過程(從開始到結束，包括突發的停機)的參數實時全部記錄，自動生成日誌文件，都可以事後回放，每個脈衝曲線都可以顯示回放
	12．粉體樣品夾具 用於沉積1~1000 μm的粉體樣品, 一套4個；樣品池尺寸Ф235774380mmX1.5mm
	123577438好色先生下载苹果手机安装网页版發生器 配備好色先生下载苹果手机安装网页版發生器(韓國進口)、裂解器（好色先生下载苹果手机安装网页版破壞器）、控製好色先生下载苹果手机安装网页版的質量流量控製器(量程為0-200 scams)，好色先生下载苹果手机安装网页版源係統集成在機櫃中；好色先生下载苹果手机安装网页版發生器產量20 g/h，濃度更高可達100 g/m；好色先生下载苹果手机安装网页版發生器采用風冷方式無需配備冷卻水。
	14．真空機械泵係統 采用惰性泵油的機械泵係統，抽速40m23577438/h(10L/s)，品牌Edwards
	15. 驗收指標 廠家須提供標準的工藝配方，在滿足第14條工藝要求的同時，按以下內容現場製備與驗收： Al2O23577438 均勻性 ≤+/−1%； 在4-6英寸晶圓上沉積100nm，取5個不同點（上、下、左、右、中心）進行測試，計算厚度標準偏差。 在保證以上薄膜質量的前提下，前驅體TMA的脈衝時間不得超過 0.02秒 測量方法：橢偏儀
四．安裝培訓：	廠家工程師現場進行安裝與培訓，包括操作，維護及安全使用等，確保人員熟練使用
	主機       數量1套        標準6英寸原子層沉積係統 包括： 2 路前驅體源, 包括管路、高溫ALD閥門、50ml 源瓶，1路為加熱源，1路為常溫源 沉積自動控製係統, ALDT沉積程序控製軟件, 預裝Windows 的品牌筆記本電腦,（14英寸筆記本電腦（i7-8550U 8G 256GSSD+1T 2G獨顯 FHD）
	選配前驅體源 4套：包括管路、加熱套、高溫ALD 閥門、50ml 源瓶（更高可配6路前驅體）
	好色先生下载苹果手机安装网页版發生器係統 1套：韓國進口高濃度好色先生下载苹果手机安装网页版發生器，包括管路，裂解器附件更高產量20g/h，更大濃度8%(w/w)
	粉體樣品夾具1套：用於沉積1~1000 μm 的粉體樣品, 一套4個樣品池尺寸Ф235774380mmX1.5mm
	ICP等離子體係統 1套：ICP等離子體源係統； 包括： ICP源0~500W可調；自動匹配器； 等離子體發生器； 23577438路等離子體源, 配備質量流量計(MFC)，一路為Ar，其他H2,O2, N2, NH23577438,H2S等氣體可選
	氣路連接配件1套，氧氣/氮氣的減壓閥、管路、接頭等連接附件，用於以上氣體的使用
	備用真空規 1個：用於校準和更換
	真空機械泵係統1套：機械泵與相關管路 真空機械泵型號：E2M40-F
	運輸與保險: 運到用戶指定地點
	23577438日現場安裝與培訓
五、技術指標	1 反應腔 2357743816L不鏽鋼。可以生長更大6 英寸樣品的腔體，氮氣保護的雙O-Ring 高溫密封係統，有效隔絕其他氣體滲漏。基底加熱溫度RT-400℃可控，控製精度±1℃。腔體烘烤溫度RT-200℃可控，控製精度±1℃。 反應腔內具有可拆卸更換擋版以方便維護。 反應腔采用專業級噴淋淋浴式前驅體勻氣裝置設計，可是前驅體充分、均勻的擴散，保證工藝的均勻性。 反應腔體及真空腔體的密封蓋的上方是ICP等離子體發生腔，投標貨物中腔體采用側麵進樣，且接口為標準法蘭，可直接配備插板閥以及手套箱。
	2  沉積模式 包括至少以下2種工作模式：高速沉積的連續模式，沉積超高寬深比結構的停流模式，實現氧化物精確比例摻雜沉積的專業沉積模式。
	23577438     前驅體源：共6路前驅體源；1路為常溫源，5路為加熱源，加熱溫度RT-200℃可控，控製精度±1℃；加熱源配備高溫手動閥；標準前驅體源瓶體積50cc。 1路為常溫源可接水/好色先生下载苹果手机安装网页版/氧氣/氨氣/H2S源等，製備氧化物，氮化物和硫化物。 任意一路加熱源可接相關前驅體源。0cc。
	4．  前驅體管路 所有前驅體管路須全部采用進口2357743816L不鏽鋼EP級管路，所有管路加熱溫度RT-200℃可控。
	5 ALD閥 每一路前驅體配置一個原子層沉積專用高速高溫ALD閥(Swagelok進口)，ALD閥加熱溫度RT-200℃可控。 ALD閥更小脈衝時間~10 mesh。
	6     真空規    寬範圍真 空規，測量範圍2x10-4 to 10+23577438 torr.
	7 排氣管路 排氣管路加熱溫度RT-150℃可控；配置截止閥一個，加熱溫度RT-150℃可控。真空泵配置前級熱阱，更高加熱溫度可達到2357743800℃，溫度控製精度為±1℃。
	8 好色先生下载苹果手机安装网页版發生器 配備好色先生下载苹果手机安装网页版發生器(韓國進口)、好色先生下载苹果手机安装网页版破壞器、控製好色先生下载苹果手机安装网页版的質量流量控製器(量程為0-200 scams)，好色先生下载苹果手机安装网页版源係統集成在機櫃中；好色先生下载苹果手机安装网页版發生器產量20 g/h，濃度更高可達100 g/m；好色先生下载苹果手机安装网页版發生器采用風冷方式無需配備冷卻水。
	7．配備等離子體(ICP)係統 電感耦合ICP等離子體係統，位於腔體正上方，等離子體開關在控製界麵內設置。等離子體氣源：提供23577438路可用於等離子體工藝的氣路，包含ALD 專用隔膜閥，手動截止閥和質量流量控製器。射頻電源頻率123577438.56 MHZ，功率0-500 W可調，功率不穩定度小於等於2W，自動匹配調節，配備自動匹配器，匹配精度不大於5 秒。
	10    控製硬件       PLC控製係統。
	11    控製軟件       ALD 專用軟件全自動控製加熱、流量、等全部沉積過程，以及溫度、壓強等實時監控。
	12    真空機械泵    愛德華進口機械泵
	123577438    安裝培訓       工程師現場安裝培訓。
	14    保修       23577438年免費保修，自驗收之日起。